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| 日付 | 类型 | 发包机构 | 项目名称 | 金額 |
|---|---|---|---|---|
| 2023-09-01 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス３） | 2.5億円 |
| 2023-04-03 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス２） | 37.5億円 |
| 2023-04-03 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス４） | 10.3億円 |
| 2022-04-27 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス２） | 37.5億円 |
| 2022-04-26 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス５） | 7.9億円 |
| 2022-04-26 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス４） | 10.3億円 |
| 2022-04-25 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス１） | 3.2億円 |
| 2022-04-25 | 补助金 | 経済産業省 | 令和３年度産業技術実用化開発事業費補助金（サプライチェーン上不可欠性の高い半導体の生産設備の脱炭素化・刷新事業費補助金）一次公募（ルネサスエレクトロニクス３） | 2.5億円 |